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研磨液的应用:蓝宝石晶片

  • 分类:行业动态
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  • 来源:
  • 发布时间:2019-01-25 12:24
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【概要描述】

研磨液的应用:蓝宝石晶片

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   蓝宝石(a一Al2O3)是一种集优良光学性能、物理性能和化学性能于一体的多功能氧化物晶体。
  而作为金属有机化学气相沉积法(MOCVD)生长GaN的蓝宝石衬底片,要求表面是超光滑、无损伤表面。目前超光滑表面是指:表面粗糙度小于1nm(RMS)的表面。无损伤表面是指:加工表面不能有加工变质层,且表面晶格完整。
  由于蓝宝石硬度高(莫氏9.0)、脆性大,对其机械加工十分困难,无损伤超光滑表面制备技术更加复杂。研磨液在其加工过程中的应用十分广泛,不同研磨液对蓝宝石的研磨效果不尽相同,而且研磨液对蓝宝石晶体研磨效率的提升和表面质量的改善具有一定良好反应。
  利用自锐性好、研磨速度快、加工精度高的研磨液进行蓝宝石晶片无损伤超光滑表面磨抛最合适不过了。
  以本公司应用自主专利技术生产的立方碳化硅微粉(莫氏9.5~9.75)为原料制备生产的研磨液、抛光液,具有自锐性好、研磨速度快、加工精度高、表面质量好等优点。适用于不锈钢、铜、铝、铸铁、蓝宝石晶片、玻璃、陶瓷等材质的研磨抛光,效果可与金刚石媲美,价格不及金刚石的十分之一,具有很高的性价比。
 
  注:立方SiC晶体的等轴结构特点,使其比α-SiC、B4C、BN、BIN、金刚石等材料有更好的自然球度,在精密研抛方面有更好的磨削和抛光效果。
  公司生产的研磨液、抛光液
  公司研磨液、抛光液的制备工艺分别获批了国家专利局授权的两项发明专利:“一种纳米抛光液的制备方法”,专利号:ZL201610703064.7和“一种悬浮型水性研磨液的制备方法”,专利号:ZL201610648321.1。
  严格的粒度控制,粒度分布指标优于行业和国家标准。
  经提纯工艺处理,杂质含量可降到十万分之一的数量级。
  可按照用户的具体要求定制粒度和浓度等配置。该产品目前已实现批量化生产,获得了用户的一致认可。
  部分内容摘自:《蓝宝石晶片纳米级超光滑表面加工技术》

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发布时间:2019-04-29 00:00:00
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